二(甲基-η5-环戊二烯)二甲基铪
二(甲基-η5-环戊二烯)二甲基铪结构式
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常用名 | 二(甲基-η5-环戊二烯)二甲基铪 | 英文名 | carbanide,hafnium(4+),5-methylcyclopenta-1,3-diene |
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| CAS号 | 68193-43-1 | 分子量 | 366.79900 | |
| 密度 | N/A | 沸点 | N/A | |
| 分子式 | C14H20Hf | 熔点 | N/A | |
| MSDS | 中文版 美版 | 闪点 | N/A | |
| 符号 |
GHS07 |
信号词 | Warning |
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High-k gate dielectrics: current status and material properties considerations Wilk, G.D.; Wallace, R.M.; Anthony, J.M.
J. Appl. Phys. 89 , 5243, (2001)
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Gutsche, M.; Seidl, H.; Luetzen J.; Birner, A.; et. al
IEDM , 18.6.1, (2001)
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P. R.Chalker et. al.
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Atomic Layer Deposition of HfO2 Thin Films Exploiting Novel Cyclopentadienyl Precursors at High Temperatures J. Niinisto et al.
Chem. Mater. , (2007)
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期刊文献综述：
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