电子级乙硅烷
更新时间：2026-03-10 19:57:13
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| 常用名 | 乙硅烷 | CAS号 | 1590-87-0 |
|---|---|---|---|
| 价格 | ￥需询单/200kg | 纯度 | 98.0% |
| 备货期 | 需询单 | 库存 | 现货 |
| 产品详情（用途，包装等）
用途： 1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。 2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。 3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。 物理化学性质： CAS号：1590-87-0 常用中文名：乙硅烷 常用英文名：Disilane 分子式：H6Si2 分子量：62.219 密度：0.686 g/cm3 沸点：-14.5±9.0 °C at 760 mmHg 熔点：-132.6ºC 闪点：<10°C |
苏州市森菲达化工有限公司
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