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乙硅烷

更新时间:2024-07-15 12:32:34 采购访问:24次

常用名 乙硅烷 CAS号 1590-87-0
价格 纯度 98.0%
备货期 10天 库存 现货
 产品详情(用途,包装等)
用途:
1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。
2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。
3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。
物理化学性质:
CAS号:1590-87-0
常用中文名:乙硅烷
常用英文名:Disilane
分子式:H6Si2
分子量:62.219
密度:0.686 g/cm3
沸点:-14.5±9.0 °C at 760 mmHg
熔点:-132.6ºC
闪点:<10°C

供应商信息

上海化源生化科技有限公司 认证供应商

认证状态:已认证供应商
商品数:396715件
电话:53555033
地址:上海市普陀区金沙江路1759号圣诺亚大厦B座508室
地区: 上海市 上海市 普陀区
联系人:徐经理
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