| 常用名 | 乙硅烷 | CAS号 | 1590-87-0 |
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| 价格 | 纯度 | 98.0% | |
| 备货期 | 10天 | 库存 | 现货 |
| 产品详情(用途,包装等)
用途: 1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。 2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。 3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。 物理化学性质: CAS号:1590-87-0 常用中文名:乙硅烷 常用英文名:Disilane 分子式:H6Si2 分子量:62.219 密度:0.686 g/cm3 沸点:-14.5±9.0 °C at 760 mmHg 熔点:-132.6ºC 闪点:<10°C |