三氟化氮

一般危化品
更新时间:2024-01-02 09:57:58

三氟化氮结构式
三氟化氮结构式
常用名 三氟化氮 英文名 nitrogen trifluoride
CAS号 7783-54-2 分子量 71.00190
密度 1.361 g/cm3 沸点 -129°C
分子式 F3N 熔点 -207°C
MSDS N/A 闪点 N/A

 三氟化氮用途


1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅的蚀刻,采用NF3和CF4+O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染。氢与NF3反应,在瞬间伴随放出大量的热,这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下,NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性,操作时应十分谨慎。

2.用作高能燃料。


 三氟化氮名称

中文名 三氟化氮
英文名 nitrogen trifluoride
中文别名 氟化氮
英文别名 更多

 三氟化氮物理化学性质

密度 1.361 g/cm3
沸点 -129°C
熔点 -207°C
分子式 F3N
分子量 71.00190
精确质量 70.99830
PSA 3.24000
LogP 0.94190
外观性状 无色气体
折射率 1.187
储存条件

1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的,因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装,对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输,国外规定可以用汽车、火车运输,不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。

2.储存注意事项 储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

稳定性

1.高纯NF3几乎没有气味,但商业用NF3由于有痕量活性氟,因而具有刺激性气味。临界温度气体。NF3是一种热力学稳定的氧化剂,大约在350℃时,它的反应活性相当于氧,在高温下,NF3能与许多元素反应生成N2F4和相应的氟化物。三氟化氮是一种毒物,其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。

2.稳定性 稳定

3.禁配物 还原剂、易燃或可燃物

4.避免接触的条件 受热

5.聚合危害 不聚合

水溶解性 insoluble
分子结构

1、摩尔折射率:6.26

2、摩尔体积(cm3/mol):52.1

3、等张比容(90.2K):86.3

4、表面张力(dyne/cm):7.5

5、极化率(10-24cm3):2.48

计算化学

1.疏水参数计算参考值(XlogP):1.9

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:4

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积3.2

7.重原子数量:4

8.表面电荷:0

9.复杂度:8

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

更多

1.性状:无色、带霉味的气体。

2.熔点(ºC):-208.5

3.沸点(ºC):-129

4.相对密度(水=1):1.89(沸点,液体)

5.相对蒸气密度(空气=1):2.45

6.临界温度(ºC):-39.3

7.临界压力(MPa):4.53

8.溶解性:不溶于水。

 三氟化氮MSDS

第一部分:化学品名称
化学品中文名称:
三氟化氮
化学品英文名称:
nitrogen trifluoride
中文名称 2
英文名称 2
nitrogen fluoride
技术说明书编码:
67
CAS No.
7783-54-2
分子式:
NF3
分子量:
70.01


第二部分:成分 / 组成信息
有害物成分
含量
CAS No.
三氟化氮
7783-54-2


第三部分:危险性概述
危险性类别:
侵入途径:
健康危害:
尚未见职业性中毒报道。
环境危害:
燃爆危险:
本品助燃,有毒。
第四部分:急救措施
皮肤接触:
眼睛接触:
吸入:
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
食入:


第五部分:消防措施
危险特性:
强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧,甚至爆炸。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。
有害燃烧产物:
氟化氢。
灭火方法:
消防人员必须穿全身防火防毒服,在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫。
第六部分:泄漏应急处理
应急处理:
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
第七部分:操作处置与储存
操作注意事项:
严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩),戴化学安全防护眼镜,穿防毒物渗透工作服,戴橡胶手套。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈,防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
储存注意事项:
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分:接触控制 / 个体防护
职业接触限值
中国 MAC(mg/m3)
1
前苏联 MAC(mg/m3)
未制定标准
TLVTN
ACGIH 10ppm,29mg[F]/m3
TLVWN
未制定标准
监测方法:
工程控制:
严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。
呼吸系统防护:
空气中浓度较高时,应该佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护:
戴化学安全防护眼镜。
身体防护:
穿防毒物渗透工作服。
手防护:
戴橡胶手套。
其他防护:
工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。


第九部分:理化特性
主要成分:
纯品
外观与性状:
无色、带霉味的气体。
pH
熔点 ( )
-208.5
沸点 ( )
-129
相对密度 ( =1)
1.89( 沸点 , 液体 )
相对蒸气密度 ( 空气 =1)
无资料
饱和蒸气压 (kPa)
无资料
燃烧热 (kJ/mol)
无意义
临界温度 ( )
无资料
临界压力 (MPa)
无资料
辛醇 / 水分配系数的对数值:
无资料
闪点 ( )
无意义
引燃温度 ( )
无意义
爆炸上限 %(V/V)
无意义
爆炸下限 %(V/V)
无意义
溶解性:
不溶于水。
主要用途:
用作高能燃料。
其它理化性质:
第十部分:稳定性和反应活性
稳定性:
禁配物:
还原剂、易燃或可燃物。
避免接触的条件:
聚合危害:
分解产物:
第十一部分:毒理学资料
急性毒性:
LD50 :无资料

LC50
19000mg/m3 1 小时 ( 大鼠吸入 ) 5600mg/m3 4 小时 ( 小鼠吸入 )
亚急性和慢性毒性:
刺激性:
对皮肤、粘膜有刺激作用。
致敏性:
致突变性:
致畸性:
致癌性:


第十二部分:生态学资料
生态毒理毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
生物富集或生物积累性:
其它有害作用:
无资料。


第十三部分:废弃处置
废弃物性质:
废弃处置方法:
根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。
废弃注意事项:
第十四部分:运输信息
危险货物编号:
23016
UN 编号:
2451
包装标志:
包装类别:
Z01
包装方法:
无资料。
运输注意事项:
铁路运输时须报铁路局进行试运,试运期为两年。试运结束后,写出试运报告,报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。


第十五部分:法规信息
法规信息
化学危险物品安全管理条例 (1987 2 17 日国务院发布 ) ,化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 ) ,工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 ) 等法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.3 类有毒气体。
第十六部分:其他信息
参考文献:
填表时间:
填表部门:
数据审核单位:
修改说明:
其他信息:
MSDS 修改日期:

 三氟化氮毒性和生态

三氟化氮毒理学数据:

1.急性毒性LC50:19000mg/m3(大鼠吸入,1h);5600mg/m3(小鼠吸入,4h)

2.刺激性 暂无资料

3.亚急性与慢性毒性 大鼠于308mg/m3浓度下,每天吸入7h,共4~5个月,见肝、肾有轻至中度病理改变,脾肿大,尿氟增高。

三氟化氮生态学数据:

1.生态毒性 暂无资料

2.生物降解性 暂无资料

3.非生物降解性 暂无资料

4.其他有害作用 室温气体,会造成全球气候变暖。

三氟化氮毒性英文版

 三氟化氮安全信息

危害码 (欧洲) O: Oxidizing agent;
风险声明 (欧洲) R8
安全声明 (欧洲) S17-S23-S38
危险品运输编码 2451
危险类别 2.2

 三氟化氮合成线路

 三氟化氮制备

在熔融氟铵酸存在下,采用氨直接氟化工艺,其反应式为:7783-54-2 preparation

反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器,以及真空蒸馏,可分别除去各种杂质,最后用低温法收集得到NF3

 三氟化氮英文别名

Perfluoroammonia
EINECS 232-007-1
Trifluoramine
Trifluoroamine
Trifluorammonia
MFCD00042549
Trifluoroammonia
NF3
Stickstofftrifluorid
nitrogen fluoride
N,N,N-Trifluoroamine
Nitrogen trifluoride