六氟乙烷

六氟乙烷用途

1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂

2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

六氟乙烷名称

[ CAS 号 ]:
76-16-4

[ 中文名 ]:
六氟乙烷

[ 英文名 ]:
hexafluoroethane

[英文别名 ]:

1,1,1,2,2,2-hexafluoro-ethane
MFCD00000428
HEXAFLUOROETHANE
EINECS 200-939-8
Ethane,hexafluoro
Freon 116
Perfluoroethane
Hexafluor-aethan
UN2193

六氟乙烷物理化学性质

[ 密度 ]:
1,607 g/cm3

[ 沸点 ]:
−78 °C(lit.)

[ 熔点 ]:
−100 °C(lit.)

[ 分子式 ]:
C₂F₆

[ 分子量 ]:
138.01200

[ 精确质量 ]:
137.99000

[ LogP ]:
2.11100

[ 外观性状 ]:
无色气体

[ 蒸汽密度 ]:
4.7 (vs air)

[ 蒸汽压 ]:
430 psi ( 21 °C)

[ 折射率 ]:
1.202

[ 储存条件 ]:
库房通风低温干燥,与易燃物分开存放

六氟乙烷MSDS

详细MSDS(安全技术说明书)

六氟乙烷毒性和生态

CHEMICAL IDENTIFICATION

RTECS NUMBER :: KI4110000

CHEMICAL NAME :: Ethane, hexafluoro-

CAS REGISTRY NUMBER :: 76-16-4

BEILSTEIN REFERENCE NO. :: 1740328

LAST UPDATED :: 199710

DATA ITEMS CITED :: 5

MOLECULAR FORMULA :: C2-F6

HEALTH HAZARD DATA

ACUTE TOXICITY DATA

TYPE OF TEST :: LC - Lethal concentration

ROUTE OF EXPOSURE :: Inhalation

SPECIES OBSERVED :: Rodent - rat

DOSE/DURATION :: >20 pph/2H

TOXIC EFFECTS :: Details of toxic effects not reported other than lethal dose value

REFERENCE :: JOCMA7 Journal of Occupational Medicine. (Chicago, IL) V.1-9, 1957-67. For publisher information, see:JJOMDZ Volume(issue)/page/year: 4,262,1962 *** NIOSH STANDARDS DEVELOPMENT AND SURVEILLANCE DATA *** NIOSH OCCUPATIONAL EXPOSURE SURVEY DATA : NOHS - National Occupational Hazard Survey (1974) NOHS Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 11 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 3 No. of Employees: 357 (estimated) NOES - National Occupational Exposure Survey (1983) NOES Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 7 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 1 No. of Employees: 332 (estimated) No. of Female Employees: 184 (estimated)

六氟乙烷安全信息

[ 危害码 (欧洲) ]:
Xi

[ 安全声明 (欧洲) ]:
S38

[ 危险品运输编码 ]:
UN 2193 2.2

[ WGK德国 ]:
3

[ RTECS号 ]:
KI4110000

[ 危险类别 ]:
2.2

六氟乙烷合成路线

详细合成路线

六氟乙烷上下游产品

六氟乙烷上游产品

六氟乙烷下游产品

六氟乙烷制备

以活性炭与氟为原料，在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气，通过控制电加热，供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后，可获得含ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８的粗品，然后把粗品混合物进行间歇低温精馏，提取Ｃ２Ｆ６，再用分子筛进一步进行低温吸附脱水，可获得纯度大于99.7%的Ｃ２Ｆ６。