六氟-1,3-丁二烯
更新时间：2024-01-02 11:27:34
| 常用名 | 六氟-1,3-丁二烯 | CAS号 | 685-63-2 |
|---|---|---|---|
| 价格 | ￥需询单/5kg | 纯度 | 99.0% |
| 备货期 | 需询单 | 库存 | 现货 |
| 产品网页 | http://www.beijingyuji.com/chinese/product/fluorine/Cryogen1/ | ||
| 产品详情（用途，包装等）
全氟丁二烯/C4F6 全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。 C4F6，六氟-1,3-丁二烯 分子量：162.03 g/mol 外观：无色液化气体 熔点：-132℃ 沸点：6℃ 密度：1.553 g/cm3 水溶性：不溶 用途：最新一代的半导体蚀刻气体，在刻蚀速度及刻蚀选择性上均能满足高速刻蚀的要求。不需要添加额外的辅助性气体如Ar、H2、O2等，在刻蚀过程中CF+/CF2+为主导气体。 产品优势：C4F6在0.13um技术层面有诸多蚀刻上的优点；C4F6有比C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比，这是很重要的两个优点。 另外，C4F6的GWP值几乎为0，温室效应系数低，从而降低温室气体的排放。 储存：储存在阴凉通风处，容器保持密闭。储存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混储。 |
- 广东翁江化学试剂有限公司
- 广东省 韶关市 翁源县
- 产品名：全氟丁二烯
- 价格： ￥8000.0/500g
- 纯度：98.0%
- 备货期：需询单
- 联系人：朱丽丹
- 武汉吉鑫益邦生物科技有限公司
- 湖北省 武汉市 江汉区
- 产品名：全氟丁二烯
- 价格： ￥需询单/500g ￥需询单/1kg ￥需询单/25kg ￥需询单/200kg
- 纯度：0.0%
- 备货期：需询单
- 联系人：周美玲
- 盼得（上海）国际贸易有限公司
- 上海市 上海市 徐汇区
- 产品名：全氟丁二烯
- 价格： ￥需询单/500g ￥需询单/1kg ￥需询单/25kg ￥需询单/200kg
- 纯度：0.0%
- 备货期：需询单
- 联系人：叶经理
查看所有供应商和价格请点击：