Abstract Anorganische Fluorverbindungen des Siliciums, Phosphors und Schwefels lassen sich durch Umsetzung der entsprechenden Chloride mit Benzoylfluorid gewinnen: die Bereitschaft des Benzolsulfofluorides, Fluor auszutauschen, ist wesentlich geringer. Das Verfahren stellt eine wertvolle Ergänzung der Fluorsulfinat-Methode dar.